研究人员利用“电子雨”技术在低温下实现绝缘基底高质量压电薄膜外延生长

研究工作建立在高功率脉冲磁控溅射（HiPIMS）技术基础之上，发现通过控制脉冲时序可形成“电子雨”，使质量更小、速度更快的电子率先抵达基底。该方法已成功实现在100摄氏度低温下，于c面蓝宝石基底上外延生长出高质量压电薄膜，有望将制备与导电基底相当的压电薄膜扩展至绝缘基底。